臭氧分析儀是利用了紫外線吸收法的原理，紫外線吸收法是現在在國際上流行的物理方法分析臭氧的方法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據比爾-郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3至5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4~5個數量級內都很好，該法已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法(GB1/T1154348)。紫外線吸收法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶解的臭氧濃度。
 

　　臭氧分析儀由紫外燈，光波過濾器，臭氧吸收池，參考光電傳感器，信號光電傳感器，輸出顯示，電路部件等構成。穩定的紫外燈光源產生紫外線，當氣體樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光(臭氧對253.7nm波長的紫外光有特征吸收)，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌去器再進入吸收池，到達采樣光電傳感器，通過吸收池時被光傳感器檢測的光強度為I0，臭氧樣品通過吸收池時被光檢測器檢測的光強度為I，I/I0為透光率。每經過一個循環周期樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，儀器的微處理系統根據朗伯—比耳定律計算，可得出臭氧濃度。
 

　　臭氧分析儀輕便易攜，用途廣泛，穩定性好。既可以實現0-300ppm量程的高濃度工業過程分析，又可以實現0-500ppb量程的低濃度大氣環境分析。精度和準確度經由中國臺灣工研院驗證，可提供NIST溯源校準報告。